熱搜關鍵詞：流體拋光機,磨粒流拋光設備,內孔拋光

這是晶圓加工中很常見的一根噴淋管，管子上面的小孔孔徑規格從0.1mm到1mm不等，類型很多。我們做了一個實驗，看看磨粒流給這些小孔去毛刺前后，噴孔噴出來的水柱有什么變化。

首先是沒有去毛刺的噴淋管，我們可以看到這些小孔里射出來的水柱，有些是歪斜的，有些是分叉的，這是因為小孔里有金屬毛刺，毛刺改變了水流正常的行進方向和路線，讓水柱變得散亂。這種情況，在噴淋的時候，就不會起到均勻冷卻的作用，有些地方能噴到，有些地方就噴不到了。

我們再看看用磨粒流給這些小孔去毛刺后的水柱，水柱變得均勻了，而且又順又直。

同時我們還發現，孔徑越小的噴孔，毛刺的影響就會越大，就越要把毛刺給清理干凈。另外，這些毛刺還有一個風險，就是可能隨著高速水流一起被沖下來，沖擊到晶圓上，將晶圓損壞。

上圖是小孔去毛刺后在放大鏡下的畫面，孔口處是干凈的，也沒有受到什么破壞，效果非常好。